晶圆键合设备膜式减震器选型指南

在晶圆键合设备中，膜式减震器作为关键部件，直接影响设备运行的稳定性和可靠性。选择合适的减震器需要从多个参数入手：

减震系数：通常在1000-2000 N/mm之间，根据设备震动幅度和噪声控制需求确定。

行程：一般控制在10-20mm，根据设备类型和震动频率调整，避免影响操作空间。

材料选择：选用高分子材料，确保减震器的耐久性和密封性，同时延长设备使用寿命。

安装位置：避免安装在震动源附近，确保减震器对设备震动的有效隔离。

校验和匹配：确保减震器的减震能力与设备负载匹配，避免超负荷运行。

通过合理选型，膜式减震器能够有效降低设备运行震动，提升整体设备性能和可靠性。